理工学部 数物・電子情報系学科/
先端科学高等研究院(IAS)主任研究者
教授 馬場 俊彦ババ トシヒコ
シリコンフォトニクスやフォトニック結晶の研究分野を、創生期から牽引している。
ナノレーザ、スローライト、負屈折光学素子などを生み出した。
研究室には、電子ビーム描画と半導体加工技術、ウエハスケールのデバイス製作、光波解析やフォトニックバンド解析、Siフォトニクス用GDSデータ生成などの手法を有している。近年は光レーダー(LiDAR)の集積化に注力している。
研究分野 - 分野
総合理工
研究分野 - 分科
応用物理学
研究分野 - 細目名
光工学・光量子科学

キーワード
シリコンフォトニクス / フォトニック結晶 / ライダ(LiDAR) / ナノレーザー / バイオフォトニクス

相談に応じられるテーマ
光デバイス、特にシリコンフォトニクス、シリコン変調器 / 半導体レーザ・半導体加工 / 光センサ、特にLiDAR / 光波解析・シミュレーション

所属
大学院工学研究院 知的構造の創生部門
大学院工学府 数物・電子情報系理工学専攻
理工学部 数物・電子情報系学科
電子情報システム教育プログラム

E-mail
baba-toshihiko-zm@ynu.ac.jp
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研究概要

微小な光デバイスとその高性能化、高機能化、集積化を20年以上にわたり研究してきました。特にシリコンフォトニクスとフォトニック結晶については分野創生期から分野を牽引し、ナノレーザ、スローライト、負屈折光学素子などを生み出しました。世界最小のレーザや光変調器、他に例のない光遅延の制御、巨大な光非線形効果、高輝度LED、超小型なAWG波長合分波器やコヒーレント光受信器、高感度バイオマーカーセンサなどを実現し、近年はライダ(LiDAR)の集積化に注力しています。

アドバンテージ

上記の研究では、電子ビーム描画とICPエッチングによる半導体加工技術、シリコンCMOSプロセスを利用したウエハスケールのデバイス製作、FDTD法による大規模な光波解析やフォトニックバンド解析、Siフォトニクス用GDSデータ生成、光ファイバ通信波長帯における広帯域・高速光伝送特性評価、スローライト、共振器QEDなど高度な光物理、パルス計測、LiDAR開発、バイオセンシング応用を含みます。これらと接点をもつ研究開発についてご相談下さい。

事例紹介

シリコンフォトニクスは、現在、光集積プラットフォームとして一般化してきており、新規に取り組もうと考える複数の企業に対して、ファブの利用法の指南、必要な設計の提供,データ作成、製作・実装・評価までの方法を紹介しました。また、特に最近のFMCW方式LiDARの研究では、自動車応用をはじめとして、幅広い用途からの相談を受け入れております。

主な所属学会

電子情報通信学会 / 応用物理学会 / 米国電気電子学会(IEEE) / 米国光学会(Optica)

主な論文

『Slow light in photonic crystals』「Nature Photonics, vol.2,no.8,pp.465-473」2008 (Review)
『Wide beam steering by slow-light waveguide grating and a prism lens』「Optica, vol. 7, no. 1, pp. 47-52」2020.
『Silicon photonics FMCW LiDAR chip with slow light grating beam scanner』「IEEE Journal of Selected Topics in Quantum Electronics, vol. 28, no. 5, pp. 8300208」2022(招待論文)

主な特許

特許第6879561号「光偏向デバイスおよびライダー装置」
特許第6956964号「光偏向デバイスおよびライダー装置」
特許第7076822号「光受信器アレイ,及びライダー装置」
特許第7352295号「プリズムレンズ、光偏向デバイス及びライダ装置」

主な著書

「Roadmap on Photonic Crystals」Kluwer Academic, 2003.

主な研究機器・設備

Siフォトニクスデバイス計算システム
Siフォトニクスデバイス計測システム
電子ビーム描画装置,ICPエッチング装置,ALD装置などの半導体加工設備